Отделением сегнетопьезоэлектрических
материалов, приборов и устройств НИИ физики ЮФУ
Шифр материалов - ПКР (пьезоэлектрическая керамика ростовская). Основу большинства материалов составляют многокомпонентные системы сложных оксидов. Материалы изготавливаются как методом горячего прессования, так и по обычной керамической технологии. Ниже приводятся различные группы пьезокерамических материалов типа ПКР, производимые нашим Отделением, и сравнение их с промышленными.
Выделяются 9 групп:
Материалы, устойчивые к электрическим и механическим воздействиям. В табл.1 приведены параметры пьезокерамических материалов сегнетожестких и средней сегнетожесткости, устойчивых к электрическим и механическим воздействиям.
Материалы |
Tk, C ° |
eT 33/e0 |
Kp |
|d 31|, пКл/Н |
|g 31|, мВ*м/Н |
tgδ*10 2 |
Qм |
Qqм, q=13 МПа |
|
E=50, В/см |
E=1, кВ/см |
||||||||
Сегнетожесткие |
|||||||||
ПКР-8 | 325 |
1400 |
0.58 |
130 |
10.5 |
0.35 |
0.70 |
2000 |
700 |
ПКР-8* | 320 |
1300 |
0.57 |
125 |
10.8 |
0.33 |
0.50 |
1800 |
- |
ПКР-77 | 345 |
1350 |
0.62 |
140 |
11.7 |
0.30 |
0.40 |
1200 |
- |
ПКР-78 | 350 |
1250 |
0.60 |
130 |
11.7 |
0.30 |
0.60 |
1000 |
- |
ПКР-23 | 325 |
900 |
0.58 |
85 |
10.7 |
0.85 |
- |
1500 |
1000 |
Аналоги |
|||||||||
PZT-8 | 300 |
1000 |
0.5 |
93 |
10.5 |
0.40 |
0.70 |
1000 |
- |
ЦТССт -3 | 260 |
1470 |
0.54 |
125 |
9.6 |
0.60 |
1.10 |
630 |
- |
Средней сегнетожесткости |
|||||||||
ПКР-12 | 285 |
2000 |
0.66 |
185 |
10.4 |
0.35 |
0.85 |
1300 |
- |
ПКР-22 | 240 |
2100 |
0.57 |
155 |
8.4 |
0.35 |
0.90 |
1800 |
750 |
ПКР-86 | 235 |
2300 |
0.60 |
170 |
8.4 |
0.35 |
0.60 |
1250 |
- |
ПКР-6 | 230 |
2300 |
0.64 |
195 |
9.6 |
0.40 |
1.00 |
1100 |
300 |
Аналоги |
|||||||||
PZT-4 | 328 |
1300 |
0.58 |
123 |
10.7 |
0.40 |
1.00 |
500 |
110 |
ЦТБС-3 |
180 |
2300 |
0.45 |
158 |
7.8 |
1.20 |
2.00 |
350 |
- |
* спекался по обычной технологии |
Материалы с высокой диэлектрической проницаемостью. К этой группе относятся сегнетомягкие материалы. Помимо высокой величины eT 33/e0 материалы этой группы отличается высокими значениями коэффициентов элекромеханической связи K ij и пьезомодулей d ij. Высокая диэлектрическая проницаемость определяет основное назначение материалов -использование в низкочастотных приемных устройствах - гидрофонов, микрофонах, сейсмоприемниках.
Кроме работы на низких частотах указанные материалы могут использоваться в приборах медицинской диагностики, работающих на нагрузку с низкоомным входным сопротивлением, которое обеспечивает согласование с ней преобразователя на высоких частотах.
Материалы | Tk, C ° |
eT 33/e0 |
Kp |
K 33 |
|d 31|, пКл/Н |
d 33, пКл/Н |
tgδ*10 2, |
||
пКл/Н |
E=50, В/см |
E=1, кВ/см |
|||||||
ПКР-66 | 280 |
2800 |
0.68 |
0.72 |
245 |
535 |
10.2 |
1.20 |
70 |
ПКР-7 | 220 |
3500 |
0.68 |
0.76 |
280 |
610 |
10.3 |
1.50 |
80 |
ПКР-7М | 175 |
5000 |
0.71 |
0.78 |
350 |
760 |
10.8 |
2.0 |
60 |
ПКР-73 | 155 |
6000 |
0.70 |
0.77 |
380 |
860 |
11.1 |
2.9 |
35 |
Аналоги |
|||||||||
PZT-5H | 193 |
3400 |
0.65 |
0.75 |
274 |
593 |
10.2 |
2.0 |
65 |
РСМ-33А | - |
3200 |
0.66 |
0.71 |
262 |
572 |
10.1 |
1.7 |
80 |
ЦТСНВ-1 | 240 |
2200 |
0.54 |
0.69 |
205 |
445 |
9.5 |
1.9 |
70 |
Высокочувствительные материалы . Материалы данной группы (табл.3) отличаются повышенной чувствительностью к механическому напряжению, характеризуемой пьезоэлектрическим коэффициеном g ij. Материалы типа ПКР обладают высокими значениями коэффициенов электромеханической связи Kp, K 15 при более низкой диэлектрической проницаемости, чем у промышленных аналогов. Рассмотренные материалы могут эффективно использоваться в акселерометрах, ультразвуковых дефектоскопах, устройствах для неразрушающего контроля материалов методом акустической эмисси, приборах для ультразвуковой медицинской диагностики. Их низкая механическая добротность способствует подавлению ложных колебаний в соответствующих устройствах.
Материалы |
Tk, C ° |
eT 33/e0 |
Kp |
K 15 |
|d 31|,
пКл/Н |
d 33,
пКл/Н |
|g 31|,
мВ*м/Н |
g 33,
мВ*м/Н |
tgδ*10 2 | Qм |
E=50, В/см | ||||||||||
ПКР-1 | 355 |
650 |
0.62 |
0.70 |
95 |
220 |
16.5 |
38.0 |
2.0 |
90 |
ПКР-37 | 345 |
1400 |
0.68 |
- |
170 |
375 |
13.7 |
30.3 |
1.6 |
105 |
Аналоги |
||||||||||
Пьезолан-S | 350 |
800 |
0.48 |
0.60 |
92 |
206 |
13.0 |
29.4 |
2.5 |
80 |
PZT-5A | 365 |
1700 |
0.60 |
0.68 |
171 |
374 |
11.4 |
24.8 |
24.8 |
75 |
ЦТС-19* |
290 |
1600 |
0.60 |
- |
150 |
340 |
10.6 |
24.0 |
24.0 |
50 |
* Спекался методом горячего прессования
|
Материалы со средней диэлектрической проницаемостью . Материалы этой группы занимают промежуточное положение между материалами с высокой диэлектрической проницаемостью и высокочувствительными материалами. Указанные материалы предназначены для преобразователей, работающих в режиме приема, и обладают достаточно высокой чувствительностью при работе как на нагрузку (удельная чувствительность), так и в режиме холостого хода, т. е. им соответствуют достаточно высокие значения коэффициентов d 33/√eT 33/e0 и g ij.
Материалы |
Tk, C ° |
eT 33/e0 |
Kp |
|d 31|,
пКл/Н |
d 33,
пКл/Н |
|g 31|,
мВ*м/Н |
d 33/√eT 33/e0 , пКл/Н |
tgδ*10 2 |
Qм |
E=50, В/см |
|||||||||
ПКР-88 | 315 |
2200 |
0.65 |
210 |
470 |
10.7 |
10.0 |
1.4 |
70 |
ПКР-89 | 320 |
1900 |
0.67 |
205 |
460 |
10.5 |
10.5 |
1.6 |
75 |
Аналоги |
|||||||||
PZT-5A | 365 |
1700 |
0.60 |
171 |
374 |
11.4 |
9.1 |
2.0 |
75 |
ЦТСНВ-1 | 240 |
2200 |
0.54 |
205 |
445 |
10.5 |
9.5 |
1.9 |
70 |
ЦТС-19* |
290 |
1600 |
0.60 |
150 |
340 |
10.6 |
8.5 |
2.5 |
60 |
*Спекался методом горячего прессования;остальные материалы - по обычной керамической технологии |
Материалы с высокой анизотропией пьезоэлектрических параметров. Пьезокерамические материалы указанного вида (табл. 5) предназначены для ультразвуковых дефектоскопов, акселерометров, пьезокерамических датчиков с повышенной чувствительностью к гидростатическому давлению и ряда других устройств.
Материалы |
Tk, C ° |
eT 33/e0 |
Kp |
K 15 |
|d 31|,
пКл/Н |
d 33,
пКл/Н |
|g 31|,
мВ*м/Н |
g 33,
мВ*м/Н |
tgδ*10 2 | Qм |
E=50, В/см | ||||||||||
ПКР-40 | 440 |
180 |
0.07 |
0.44 |
5.0 |
5.2 |
3.2 |
33 |
1.0 |
2000 |
Японский аналог | 460 |
190 |
0.10 |
0.43 |
- |
- |
- |
- |
- |
1050 |
ПКР-69 | 350 |
170 |
0.04 |
0.57 |
3.5 |
90 |
2.3 |
60 |
2.2 |
50 |
ПКР-70 | 324 |
120 |
0 |
0.64 |
0 |
114 |
0 |
108 |
2.1 |
8 |
Японский аналог | 260 |
255 |
0 |
0.51 |
0 |
- |
0 |
- |
2.3 |
18 |
Материалы с высокой стабильностью резонансной частоты . Материалы данной группы (табл. 6) предназначены для использования в фильтровых устройствах. Большинство материалов типа ПКР имеют высокую механическую добротность Qм. Большая часть материалов ПКР данной группы спекаются по обычной керамической технологии(ПКР-13,28,30,31,74,80,62), остальные - методом горячего прессования.
Материалы |
Tk, C ° |
eT 33/e0 |
Kp |
Kt |
|d 31|,
пКл/Н
|
δf θ /fr,% (-60 ÷ +85 °C) |
C 33 D / C 44 E |
tgδ*10 2 |
|
E=50, В/см | |||||||||
ПКР-15 | 325 |
950 |
0.45 |
- |
75 |
0.25 |
- |
0.6 |
2500 |
ПКР-31 | 305 |
940 |
0.45 |
- |
81 |
0.25 |
- |
1.5 |
1100 |
ПКР-13 | 335 |
800 |
0.40 |
0.41 |
65 |
0.2-0.25 |
- |
0.7 |
2800 |
ПКР-63 | 235 |
1170 |
0.37 |
0.38 |
60 |
<0.15 |
- |
2.0 |
1100 |
ПКР-80 | 310 |
800 |
0.36 |
- |
51 |
0.25 |
- |
0.6 |
4000 |
ПКР-30 | 305 |
780 |
0.32 |
- |
47 |
<0.15 |
- |
1.3 |
2000 |
ПКР-62 | 300 |
660 |
0.32 |
0.35 |
42 |
<0.15 |
- |
1.4 |
2700 |
ПКР-28 | 325 |
600 |
0.28 |
- |
36 |
0.25 |
- |
0.5 |
2000 |
ПКР-83 | 360 |
400 |
0.26 |
- |
28 |
0.15 |
- |
0.6 |
4000 |
ПКР-84 | 360 |
180 |
0.10 |
0.25 |
6 |
0.15 |
- |
0.2 |
12000 |
ПКР-21 | 310 |
1400 |
0.53 |
0.45 |
100 |
0.25 |
- |
0.7 |
300 |
ПКР-74 | 365 |
850 |
0.52 |
0.47 |
90 |
0.20* |
6 |
1.6 |
400 |
Аналоги |
|||||||||
PZT-6A | 335 |
1050 |
0.42 |
0.39 |
80 |
<0.20 |
- |
2.0 |
450 |
PZT-6B | 350 |
460 |
0.25 |
0.30 |
27 |
<0.20 |
- |
0.9 |
1300 |
ЦТС-35 | 300 |
1000 |
0.46 |
0.49 |
95 |
<0.5 |
- |
2.0 |
700 |
ЦТС-35У |
290 |
800 |
0.50 |
0.50 |
90 |
0.5* |
6 |
2.5 |
650 |
* Измерения на толщинной моде |
Материалы с низкой диэлектрической проницаемостью.Указанная группа материалов предназначена для использования в высокочастотных акустоэлектрических преобразователях. Приведенные в табл.7 материалы с высокой механической добротностью могут также эффективно использоваться в устройствах с высоким КПД.
Материалы |
Tk, C ° |
eT 33/e0 |
Kp |
K 15 |
|d 31|,
пКл/Н |
|g 31|,
мВ*м/Н |
tgδ*10 2 |
Qм |
VR,км/с |
E=50, В/см |
|||||||||
ПКР-53 | 240 |
260 |
0.20 |
- |
16 |
7.0 |
0.3 |
4500 |
4.20 |
ПКР-11 | 280 |
290 |
0.31 |
0.45 |
27 |
10.5 |
0.3 |
4000 |
4.05 |
ПКР-3 | 280 |
350 |
0.38 |
- |
37 |
12.0 |
0.5 |
2000 |
3.95 |
ПКР-10 | 320 |
380 |
0.47 |
0.65 |
49 |
14.6 |
0.3 |
2500 |
3.80 |
ПКР-24 | 320 |
480 |
0.53 |
0.68 |
64 |
15.1 |
1.0 |
200 |
3.60 |
ПКР-20 | 315 |
510 |
0.54 |
0.72 |
70 |
15.5 |
0.8 |
700 |
3.60 |
Аналоги | |||||||||
РСМ -75 | 359 |
390 |
0.23 |
- |
23.5 |
6.8 |
0.25 |
4520 |
- |
PZT -2 | 370 |
450 |
0.47 |
0.70 |
60 |
15.1 |
0.5 |
680 |
- |
Подгруппа с высокой скоростью звука, промышленных аналогов нет | |||||||||
ПКР-35 | 370 |
120 |
0.22 |
0.31 |
12 |
10.5 |
1.6 |
1000 |
5.90 |
ПКР-34 | 420 |
460 |
0.42 |
~0.60 |
45 |
10.0 |
2.5 |
150 |
5.40 |
Материалы |
V*,м/с |
Ks |
α ** p , дБ/см(f МГц) |
ТКЗ*10 6, K -1 (-10+70 °C) |
eT 33/e0 |
ПКР-35 | 3450 |
0.11 |
1.3 (17МГц) |
130 |
120 |
ПКР-36 | 2440 |
0.12 |
0.8(12МГц) |
60 |
360 |
ПКР-53 | 2440 |
0.16 |
0.7(12МГц) |
50 |
240 |
V* - скорость распределения ПАВ Рэлея; α**p - потери на распространение ПАВ
|
Пироэлектрические материалы. Большинство материалов предыдущей группыобладают высоким пирокоэффициентом γ и могут использоваться в качестве рабочих элементов датчиков пироэлектических приемниках лучистой (тепловой) энергии. Пироприемники используются для дистанционного измерения температуры нагретых тел, в том числе движущихся, для измерения тепловых потоков, в системах защиты. Датчики пироприемников должны обладать высокой чувствительностью к слабым тепловым излучениям в достаточно широком температурном интервале, быть механически прочными и стабильными во времени.
Материалы |
eT 33/e0 |
|d 31|,
пКл/Н
|
γ*10 4, Кл/(м2*K) |
(γ*eT 33/e0)*10 6, Кл/(м2*K) |
(γ*d 31)*10 -6, Н/(м2*K) |
ПКР-3 | 350 |
37 |
5.5 |
1.6 |
14.9 |
ПКР-3М | 420 |
48 |
5.5 |
1.3 |
11.5 |
ПКР-11 | 290 |
27 |
5.0 |
1.7 |
18.5 |
ПКР-10 | 380 |
49 |
5.0 |
1.3 |
10.4 |
Аналоги | |||||
PZT -4 | 1300 |
123 |
3.7 |
0.3 |
3.0 |
PZT -5А | 1700 |
171 |
4.7 |
0.3 |
2.8 |
ЦТС-23 | 1330 |
100 |
2.1 |
0.2 |
2.1 |
ПКД-233/18 | 360 |
- |
3.0 |
0.8 |
- |
Высокотемпературные материалы.Материалы эти отличаются высокими значениями точки Кюри и рабочих температур. Они могу эффективно использоваться в таких устройствах, как ультразвуковые дефектоскопы и толщиномеры для неразрушающего контроля нагретых тел, расходомеры и уровнемеры жидкостей и газов в нагретых трубопроводах и баках, датчики контроля процессов, происходящих в различных промышленных энергетических установках. Материалы в таблице расположены в порядке возрастания их температур Кюри (Tk) .Все они имеют пониженные или низкие величины диэлектрической проницаемости, что благоприятно при использовании их в высокочастотных устройствах.
Материалы |
Tk, C ° |
Tраб, C ° |
eT 33/e0 |
tgδ*10 2 |
Kp |
K t |
|d 31|,пКл/Н |
d 33, пКл/Н |
g 33,
мВ*м/Н |
Qм |
E=50, В/см |
||||||||||
ПКР-26 | 400 |
300 |
455 |
1.0 |
0.32 |
- |
35 |
90 |
22.5 |
200 |
ПКР-45 | 420 |
350 |
380 |
0.1 |
0.26 |
0.46 |
30 |
100 |
30.0 |
3000 |
ПКР-40 | 440 |
350 |
180 |
1.0 |
0.07 |
0.44 |
5 |
52 |
33.0 |
2000 |
ПКР-50 | 670 |
500 |
150 |
0.4 |
0.04 |
0.32 |
3 |
25 |
19.0 |
4000 |
ПКР-61 | ≥1200 |
950 |
48 |
1.9 |
0.015 |
0.29 |
0.51 |
12 |
28.5 |
<100 |
Аналоги | ||||||||||
ЦТС-21 | 400 |
300 |
420 |
1.8 |
0.27 |
- |
30 |
75 |
20.0 |
100 |
ТНаВ-1 | 670 |
500 |
130 |
1.0 |
- |
- |
- |
14-16 |
13.0 |
~2000 |
ТНВ-1 | ~920 |
750 |
100 |
1.0 |
- |
- |
- |
7 |
8.0 |
- |
Электрофизические параметры
пьезоматериалов
(E-диэлектрическая проницаемость, d -пьезомодуль, g-
пьезочувствительность, Q -механическая добротность, k-
коэффициенты связи, обозначения по ANSI/IEEE Std176-1987 An
american National Standard IEEE Standard on
Piezoelertrisity)